OLED SYSTEM

끊임없는 열정으로 항상 발전하는 씨앤아이테크놀로지가 되겠습니다.

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CAOS2400 시리즈는 유기물 증착관련 물질 및 공정 개발에 용이하도록 구성된 장비입니다.

주요 특징 - Substrate : ≤ 370mm x 470mm
- Consistence : LL, PT, TM, OC(3 chambers), MC, BF, GB
- Base pressure : ≤ 3E-7 Torr
- Thickness non-uniformity : ≤ ± 3%
- Mask alignment : mechanical(≤ 50 ㎛), vision auto(≤ 3 ㎛)
- Encapsulation : O2,H2O<1ppm
- UV curing, auto dispenser, vacuum assembly
- Transfer method : vacuum robot
- Full automation : PC or PLC